5G、物聯網、人工智能的發展推動消費者對高性能電子設備和元器件的需求。因此提供高產量及無缺陷的芯片逐漸成為制造商們所追求的目標。在集成電路、半導體器件、LED、傳感器和電子封裝領域，使用掃描電鏡對表面特征及缺陷進行目視檢測和組分分析已成為常規環節之一。 蔡司鎢燈絲電鏡EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀友好的用戶界面結合在一起，提供快速可靠的成像結果。預配置的EVO 10及25具有靈活的升級擴展選項和模塊化功能，適用于各種應用。如在自動化工作流程中，通過簡化操作來提供快速的檢測結果，大幅降低培訓成本。 ZEN軟件套裝允許將來自不同模態的圖像組合起來進行用戶自定義分析，以便利用圖像處理和數據分析功能，獲取洞察和可操作信息。智能的自動化功能讓重復性分析任務實現自動化，并以簡單易用、用戶友好的方式減少復雜的圖像分割和特征測量，以合理的縮短檢測時間。 搭配蔡司ZEN軟件套件，蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVO“解決方案套裝”提供電子和半導體解決方案，以解決常規檢測、自動材料和器件分析，以及關鍵特性和組件的測量和計量。

電子顯微鏡是電子行業質量檢測和失效分析工作流程的重要組成部分之一，采用不同技術組合進行失效分析，然后使用光學顯微鏡檢測和高分辨率電子顯微鏡成像，并使用能譜儀對材料進行表征。